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氟化氮有毒吗
氟化氮有毒吗
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氟化氮有毒吗
】氟化氮（NF₃）是一种无色、无味的气体，广泛应用于半导体制造、等离子体刻蚀和清洗工艺中。虽然它在工业上具有重要价值，
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