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氟化氮有毒吗

【氟化氮有毒吗】氟化氮(NF₃)是一种无色、无味的气体,广泛应用于半导体制造、等离子体刻蚀和清洗工艺中。虽然它在工业上具有重要价值, 浏览全文>>